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无油真空泵如何选择?

发布时间:2020.10.22 浏览次数: 
无油真空泵如何进行选择呢?无油真空泵在选择的时候又有哪些注意事项呢?下面就跟无油真空泵厂家一起来了解一下吧!

    1、无油真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的无油真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择无油真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、无油真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    4、正确地组合无油真空泵。由于无油真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的无油真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的无油真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
通过上面无油真空泵厂家的介绍大家应该知道无油真空泵如何进行选择了吧!

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