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无油真空泵的气体输送泵的要求有哪些?

发布时间:2018.10.22 浏览次数: 
无油真空泵的气体输送泵的要求有哪些?

一、气体输送泵

1、变容泵

①往复式真空泵—主要包括隔膜真空泵、活塞往复真空泵

②旋转泵
   
a、油封泵—旋片式真空泵、定片真空泵、滑阀真空泵

b、无油泵—往复式真空泵、多级罗茨真空泵、爪式真空泵、涡旋真空泵、螺杆真空泵

c、液环真空泵—水环式真空泵、油环真空泵

d、罗茨真空泵—普通罗茨真空泵、气体循环冷却罗茨真空泵

2、动量传输泵

a、分子泵—涡旋分子泵、牵引分子泵、复合分子泵

b、喷射泵—水喷射真空泵、气体喷射泵、水蒸气喷射泵

c、扩散泵—油扩散泵、油扩散增压泵



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